求解为什么真空炉一加热真空度就下降？

hackyue · 发表于 2013-9-2 10:45:54

本帖最后由 hackyue 于 2013-9-2 10:57 编辑

如题。

小小丑 · 发表于 2013-9-3 07:51:27

蒸馒头的时候，少量点水可以烧出满锅蒸汽。
个人意见，不足为凭。

hongqk · 发表于 2013-9-3 08:03:05

每次出炉都需要打开炉门，炉内的材料都有吸气，在加热过程中会慢慢释放出来，这表现在低温情况下。高温下有这样现象是正常，因为高温下分子活跃程度提高，这也是工作真空度比极限真空度要低一个数量级的道理。

hackyue · 发表于 2013-9-3 09:32:21

hongqk 发表于 2013-9-3 08:03
每次出炉都需要打开炉门，炉内的材料都有吸气，在加热过程中会慢慢释放出来，这表现在低温情况下。高温下有 ...

啊。明白了。

工作真空度比极限真空度低一个级别吗？极限真空不是最低的了吗？

景顺真空炉业 · 发表于 2013-9-16 23:06:46

想了解真空炉所有问题打我电话，有问必答，18913254888朱明耀

hongqk · 发表于 2013-9-17 01:17:15

hackyue 发表于 2013-9-3 09:32
啊。明白了。

工作真空度比极限真空度低一个级别吗？极限真空不是最低的了吗？ ...

有一个概念要重申一下，压力越低，真空度越高。真空度低一个数量级表示压力高一个数量级。

aaron01 · 发表于 2013-9-17 06:58:12

这个问题似乎双室真空炉就可以解决，加热室可以象多用炉那样一直保温在高温，不知道为什么，现在双室的炉子很少见，就是因为成本高一些吗？

hackyue · 发表于 2013-9-17 07:04:50

aaron01 发表于 2013-9-17 06:58
这个问题似乎双室真空炉就可以解决，加热室可以象多用炉那样一直保温在高温，不知道为什么，现在双室的炉子 ...

你说的是两个加热室套一起吗，还真没见过。你有没有这样的照片分享下呀

hackyue · 发表于 2013-9-17 07:07:02

hongqk 发表于 2013-9-17 01:17
有一个概念要重申一下，压力越低，真空度越高。真空度低一个数量级表示压力高一个数量级。 ...

这个。。。应该都明白吧

喜欢上岸的鱼 · 发表于 2013-9-17 08:41:11

如果下降的很多的话，可能炉子有漏气的地方，如果下降的慢的话，把炉子烘下高温再看看。

hackyue · 发表于 2013-9-17 09:54:40

喜欢上岸的鱼发表于 2013-9-17 08:41
如果下降的很多的话，可能炉子有漏气的地方，如果下降的慢的话，把炉子烘下高温再看看。 ...

不快不慢。感觉离标准就差一步距离。有人说是微露，可是检查不出来。

hongqk · 发表于 2013-9-17 13:01:08

检漏也是一个很细致的技术活，如果有氦质谱检漏仪还方便一点，如果没有，也可用一些土办法。
烘完炉以后如果还不好，还是找一个专业的检检漏。

hongqk · 发表于 2013-9-17 13:07:21

hackyue 发表于 2013-9-17 07:04
你说的是两个加热室套一起吗，还真没见过。你有没有这样的照片分享下呀
...

双室炉一般指一个加热炉，一个冷却室。

hackyue · 发表于 2013-9-17 13:43:02

hongqk 发表于 2013-9-17 13:07
双室炉一般指一个加热炉，一个冷却室。

难道是一边加热，加热完了自动运输到冷却室冷却？
qk大神有没有图片让我参观下。

hackyue · 发表于 2013-9-17 13:43:43

hongqk 发表于 2013-9-17 13:06
双室炉一般指一个加热炉，一个冷却室。

怎么你回复的帖子总是回复2遍完全一样的内容呢？

hackyue · 发表于 2013-9-17 13:45:21

hongqk 发表于 2013-9-17 13:01
检漏也是一个很细致的技术活，如果有氦质谱检漏仪还方便一点，如果没有，也可用一些土办法。
烘完炉以后如 ...

土办法用过了，不顶事。
人家专业的来一次，差旅费5000，检测费10000。

景顺真空炉业 · 发表于 2013-9-17 16:59:03

因为加热室，保温不好，炉壁油泥或油太多，加热时烘烤炉壁油烟上升，真空度就回升啦。

aaron01 · 发表于 2013-9-17 20:38:58

hackyue 发表于 2013-9-17 13:43
难道是一边加热，加热完了自动运输到冷却室冷却？
qk大神有没有图片让我参观下。 ...

我第一次接触真空炉就是买的一台双室气淬炉，前室是气淬室，不锈钢炉胆，后室是碳纤维保温，石墨加热元件，前后室之间是完全密封的隔热门。后室始终在高温状态，不会有吸潮问题。产品进炉后，在前室抽完真空，内部料车自动送料进后室，加热完成后，再送到前室气淬。
上个星期参加ALD的真空技术研讨会，也谈到这个双室炉设计，一个优点是，不需要扩散泵，就可以做一些在单室炉里对真空度要求很高的零件。比如，不锈钢的真空钎焊，我们在单室炉要预抽到负2帕才开始加热，这样才能保证产品外观，在双室炉里，两级泵就能搞定！

真的好菜 · 发表于 2013-9-17 21:47:29

真空度降了多少
在加热过程持续降吗  还是在降一会就停止了  降到什么程度才停止
在加热过程中升温到什么程度开始降
加快升温速度呢  是否会在保温的过程降
arron01在19#说的双室炉是有优点
前室的真空度应该略高于后室吧  在送料的过程中前室的冷空气才不会入侵到后室  影响后室的真空度变化
真空室内是有气体存在的  气体受热会膨胀-->密闭容器内的气压上升-->即真空度下降(这样引起的下降不会持续到保温过程)

hongqk · 发表于 2013-9-18 09:17:44

本帖最后由 hongqk 于 2013-9-18 09:23 编辑

双室真空油淬炉.jpg

1、这是我国最早期的双室真空油淬炉，也是非常典型的一种结构，中间翻板门，石墨布加热，所有动作都为液压。
双室真空油淬炉3.jpg

2、现在较多使用的双室真空油淬气冷炉，插板门，石墨棒加热，每个动作电机传动。
双室真空气淬炉3.jpg

3、双室真空气淬炉，与油淬炉类似，只是没有油槽，
立式真空油淬炉.jpg

3、立式双式炉，上是加热室，下为淬火室，有立式油淬炉和气淬炉之分。

hongqk · 发表于 2013-9-18 09:30:05

aaron01 发表于 2013-9-17 20:38
我第一次接触真空炉就是买的一台双室气淬炉，前室是气淬室，不锈钢炉胆，后室是碳纤维保温，石墨加热元件 ...

罗茨泵的理论极限真空度为负2次方帕，如果带上设备抽的话，进负2将是非常困难的。

aaron01 · 发表于 2013-9-18 12:33:59

hongqk 发表于 2013-9-18 09:30
罗茨泵的理论极限真空度为负2次方帕，如果带上设备抽的话，进负2将是非常困难的。 ...

我的意思是如果是双室炉，不需要抽到-2，也许到几个帕就可以了，效果相当于单室炉抽到-2.

hackyue · 发表于 2013-9-18 13:15:32

aaron01 发表于 2013-9-17 20:38
我第一次接触真空炉就是买的一台双室气淬炉，前室是气淬室，不锈钢炉胆，后室是碳纤维保温，石墨加热元件 ...

感谢01哥的详细讲解。

hackyue · 发表于 2013-9-18 13:17:37

真的好菜发表于 2013-9-17 21:47
真空度降了多少
在加热过程持续降吗还是在降一会就停止了降到什么程度才停止
在加热过程中升温到什么程 ...

升温到1060℃然后保温，这一段真空度能达到0.08pa。然后加热到1080℃，真空度就缓慢降到0.15pa，最后停留在0.137pa。。。工艺要求0.13pa

hackyue · 发表于 2013-9-18 13:21:25

hongqk 发表于 2013-9-18 09:17
1、这是我国最早期的双室真空油淬炉，也是非常典型的一种结构，中间翻板门，石墨布加热，所有动作都为液压 ...

多谢分享。大约看懂意思了。

只是在中间的真空阀门打开时，真空度会不会下降很大？

aaron01 · 发表于 2013-9-18 13:24:58

hackyue 发表于 2013-9-18 13:21
多谢分享。大约看懂意思了。

只是在中间的真空阀门打开时，真空度会不会下降很大？ ...

只有在两边真空度一致的情况下，才能打开中门，否则由于压力的关系，中门是打不开的。

hongqk · 发表于 2013-9-18 13:29:54

打开中间隔热门时，需要对两个室同时抽真空，两边保持一样的真空度。

aaron01 · 发表于 2013-9-18 13:38:41

双室真空气淬炉的简图，
正视图：
gas quenching vacuum.jpg

顶视图：

hackyue · 发表于 2013-9-18 14:53:09

aaron01 发表于 2013-9-18 13:38
双室真空气淬炉的简图，
正视图：

感谢01哥分享。

hackyue · 发表于 2013-9-18 14:56:14

hongqk 发表于 2013-9-18 13:29
打开中间隔热门时，需要对两个室同时抽真空，两边保持一样的真空度。

我是说这个同时抽真空的瞬间，真空度下降了，纸带记录会不会显示不合格。

真的好菜 · 发表于 2013-9-19 00:22:22

hackyue 发表于 2013-9-18 13:17
升温到1060℃然后保温，这一段真空度能达到0.08pa。然后加热到1080℃，真空度就缓慢降到0.15pa，最后停留 ...

0.137Pa是最終的穩定值
這個是不是和季節有關系
還有裝爐的工件(或操作方法)有一定的關系
從你的描述我認為爐子沒什麼問題
但是從0.08Pa降到0.15Pa再升到0.137Pa很是令人費解
我只是從設備的角度來看的(因為曾經做過一段時間的設備維護)

真的好菜 · 发表于 2013-9-19 00:32:28

hackyue 发表于 2013-9-17 13:45
土办法用过了，不顶事。
人家专业的来一次，差旅费5000，检测费10000。

曾經的曾經專業人士來工廠是按進廠的時間和離開的時間算錢滴
但是都是在解決問題的前提下
如果沒解決問題再多的時間也不能用工時來算錢
我覺得你們的錢花得有點冤

真的好菜 · 发表于 2013-9-19 00:58:35

hackyue 发表于 2013-9-18 14:56
我是说这个同时抽真空的瞬间，真空度下降了，纸带记录会不会显示不合格。 ...

以我對設備的理解加熱室(01所講的後室)的真空度是不會下降的
前室與後室的真空度一致  但是前室略高於後室(兩邊不可能完全一樣)
隔熱門打開的時候  前室的真空度有下降的趨勢後室的真空度有上升的趨勢
在送料完成後  後室的真空度不會有多大的變化
或者說可以近似的認為在前後室送料的過程中  兩室的真空度是沒有變化的
因為後室在送料完成之後工件的加熱  工件會逸出部分氣體  工件表層附近的冷空氣受熱等因素
如果控制得好  後室的真空度可以一勞永逸
以上為個人淺見  敬請斧正

hongqk · 发表于 2013-9-19 12:52:04

hackyue 发表于 2013-9-18 13:17
升温到1060℃然后保温，这一段真空度能达到0.08pa。然后加热到1080℃，真空度就缓慢降到0.15pa，最后停留 ...

从你的工艺过程来看，设备的抽速与炉内的产气达到了一个平衡，问题的解决思路就要从两个方面下手:
1、确保真空管道没有泄漏，检查前级泵油及扩散泵（如果有）油。
2、高温烘炉降温保压，测量压升率，航标现在是0.27Pa/h。
从这两个方面你一定可以发现问题所在。

学徒小刘 · 发表于 2013-9-19 16:04:15

是不是有漏水的地方，工件变颜色吗

苏治光 · 发表于 2013-9-19 17:02:58

01双室炉画得比例有点问题，双室气淬炉中，冷却室长度大于加热室

喜欢上岸的鱼 · 发表于 2013-9-19 17:03:25

不会是漏水，漏水后真空度有很大的降低，在几十帕。

hackyue · 发表于 2013-9-22 09:15:06

hongqk 发表于 2013-9-19 12:52
从你的工艺过程来看，设备的抽速与炉内的产气达到了一个平衡，问题的解决思路就要从两个方面下手:
1、确 ...

1. 检查过了，没有问题。
2. 泄漏率大约为0.5，我们客户要求是2.6。已经远远满足了。

hackyue · 发表于 2013-9-22 09:18:07

学徒小刘发表于 2013-9-19 16:04
是不是有漏水的地方，工件变颜色吗

没有明显变色。

hackyue · 发表于 2013-9-22 09:18:43

喜欢上岸的鱼发表于 2013-9-19 17:03
不会是漏水，漏水后真空度有很大的降低，在几十帕。

是的。。。漏水的话真空度就差到没法看了。

hackyue · 发表于 2013-9-22 09:21:06

真的好菜发表于 2013-9-19 00:32
曾經的曾經專業人士來工廠是按進廠的時間和離開的時間算錢滴
但是都是在解決問題的前提下
如果沒解決問 ...

有病乱投医。这么微露的情况自己没办法。

hackyue · 发表于 2013-9-22 09:22:39

真的好菜发表于 2013-9-19 00:58
以我對設備的理解加熱室(01所講的後室)的真空度是不會下降的
前室與後室的真空度一致但是前室略高於後 ...

啊。多谢解释。

只是我们的炉子是单室的。而01哥是上传一个双室的供参观，与这个主题没有太大联系。

hongqk · 发表于 2013-9-22 10:19:46

hackyue 发表于 2013-9-22 09:15
1. 检查过了，没有问题。
2. 泄漏率大约为0.5，我们客户要求是2.6。已经远远满足了。 ...

既然压升率没有问题，就查查真空泵、真空管道。

hackyue · 发表于 2013-9-22 14:21:12

hongqk 发表于 2013-9-22 10:19
既然压升率没有问题，就查查真空泵、真空管道。

qk，我已经黔驴技穷了。

hongqk · 发表于 2013-9-22 14:53:10

这个问题你一定会解决，因为生产要继续。
对于真空炉来说，压升率没有问题，只代表炉体的泄漏在允许的范围，还抽不到表示问题出在炉体之外，即真空系统。
你可以试试以下方法，因地制宜。
1、检测真空管道的压升率，管道与炉体的压升率一样重要，如果有泄漏，也会造成炉内真空度抽不到。
2、检测前级泵及机械泵的极限真空度，至少要进到5Pa左右，达不到说明机械泵油有问题或老化了，作换泵、换油或维修处理。
3、检测扩散泵的极限真空度，即是在不开主真空阀，只开预抽阀，将扩散泵预热1个小时以上，在冷阱处安装一电离规，测量扩散泵入口的极限真空度，应该进入负4，如果前级没有问题，扩散泵进入不了负4，换扩散泵油。
4、查看扩散泵的油温，是否能到250度左右，如果低于240度，肯定抽速会有严重影响。
5、摸扩散泵的水温，水温应该低于26摄氏度，水过高也会影响抽速。

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